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TA2钛合金放料阀试件制备及注入条件

作者:admin 发布时间:2020-09-20 09:52
TA2钛合金放料阀试件制备及注入条件:
1、试件制备:选航空用的TC4、TA7钛合金,试件制成圆盘状,尺寸为40*5mm,所有试件表面均抛光至镜面。
2、离子注入条件:两种钛合金都分别采用两种注入方案: ① 在TC4及TA7钛合金试件上溅射镀Ti,Ti膜总厚度为540nm(5400A).在镀Ti膜过程中,同时用(N+ +N+2)进行动态反冲注入,束流能量为50keV,束流密度为45μA/cm2,剂量为7*1017/cm2,靶室真空度为1.33*10-2Pa; ② 在①的基础上,再注入C+,束流能量为40keV,剂量为3*1017/cm2。



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